碳化硅晶片廢水主要有哪些？

問答庫 2023年12月06日 08:58 1185 問答庫

碳化硅晶片廢水主要有哪些？

　　碳化硅晶片在生產過程中會產生大量的廢水，這些廢水如果不經過處理就排放的話，會對周邊環境造成嚴重的危害。那么碳化硅晶片廢水主要有哪些？下面就讓三達膜小編為大家詳細介紹有哪些？

　　（1）切磨廢水。開方硅錠經少子壽命測試后，截斷無效部分，對斷面磨光打平，產生研磨廢水，廢水主要成分為硅粉。

　　（2）預清洗廢水。硅錠切片后，用水槍將硅片表面切削砂漿（由切削液和金剛砂配制，主要成分為聚乙二醇和碳化硅）和硅粉噴洗干凈，產生預清洗廢水。預清洗廢水水量大、有機物濃度高，是硅片生產廢水中最難處理的一股廢水。

　　（3）硅片清洗廢水。檢查合格的硅片采用檸檬酸等浸泡進一步去除表面金屬等雜質，該股廢水有機物濃度高，但水量較小。

　　（4）超聲波清洗廢水。酸洗后硅片采用超聲波技術用大量超純水清洗，該股廢水水量大，污染較小。廠區目前生產廢水約960m3/d，已接近滿負荷生產

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碳化硅晶片廢水處理方法有哪些？

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